实验室环境废气洗涤器破裂导致有毒气体报警。当没有人在实验室的时候。
有毒气体报警器报警是由少量硅烷气体逸出触发的，这种气体会立即燃烧并被空气接触。房间里的警报被触发了，但没有显示有毒水平，因为可以说硅烷现在已经被烧掉了。
学生在相邻的五楼实验室工作，说“听到砰”的一声，RM 13-5137化学气相沉积室隔着玻璃窗。当他们看到白烟时，他们立即引起了火灾警报，两个小时后撤退了。
有毒气体报警器的灭火部分反应很快，但大约两个小时内没有人能进入房间。从硅烷光开始的环境监测指出，该水平约为0.15(ppm硅烷。实验室主任说，百万分之五被认为是安全水平，但他们经常离开实验室，忽视低浓度检查，因为通常低浓度气体在实验室不会被检查。
根据有毒气体报警器的介绍，实验室的活动主要集中在电子数据的当前约束，特别是如点数据的缺陷、线缺陷和表面缺陷的产生。
在化学气相沉积实验室中，使用硅烷将具有硅基半导体层的4英寸晶片沉积在硅衬底上。这些材料被用于制造电子设备，例如用于网络交换机和其他用途的电子设备。
